| 发明名称 | 压印制造方法、其制造装置、磁记录媒体的制造方法及其制造装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及压印制造方法、其制造装置、磁记录媒体的制造方法及其制造装置。本发明提供一种能延长模具寿命及/或对被处理体能施以高品质处理的压印方法及装置。提供的压印方法及装置具有以下特征，具有：利用高压气体或超临界流体使由涂抹了抗蚀层的底板构成的被处理体的上述抗蚀层变得柔软的工序；和将形成有规定图案的模具推压到上述被处理体的上述抗蚀层上，以将上述规定图案转印到上述抗蚀层上的工序。 | ||
| 申请公布号 | CN1518070A | 申请公布日期 | 2004.08.04 |
| 申请号 | CN200410000326.0 | 申请日期 | 2004.01.07 |
| 申请人 | 日立麦克赛尔株式会社 | 发明人 | 游佐敦;杉山寿纪 |
| 分类号 | H01L21/304;G11B3/00 | 主分类号 | H01L21/304 |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 熊志诚 |
| 主权项 | 1.一种压印方法，其特征在于，具有：利用加压气体或超临界流体，使由涂抹了抗蚀层的底板组成的作为被处理体的上述抗蚀层变得柔软的工序；和将形成有规定图案的模具推压在上述被处理体的上述抗蚀层上，以将上述规定图案转印到上述抗蚀层的工序。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||