ESD保护电路元件

摘要

一种由基纳二极管所构成的ESD保护电路元件，包含有：一基纳二极管，设于一半导体晶片的基底中；一介电层，设于该基底上；一护垫金属，设于该基纳二极管上方的该介电层表面；至少一第一接触插塞，设于该介电层之中，并电连接该护垫金属与该基纳二极管；一保护层，覆盖于该半导体晶片表面，并暴露该护垫金属的部分表面；至少一掺杂区域，设于该基纳二极管的外的基底中；至少一电力线，设于该半导体晶片的该保护层上；以及至少一第二接触插塞，用来电连接该掺杂区域以及该电力线；因本发明将一基纳二极管形成于一护垫之下，可节省知技术中MOS二极管在晶片上所占的元件空间，同时该基纳二极管可通过该护垫的光罩当作反光罩而形成，能节省知技术的繁复制程。

主权项

1.一种ESD保护电路元件，其特征是：该ESD保护电路元件包含有：一基纳二极管，设于一半导体晶片的基底中；一介电层，设于该基底上；一护垫金属，设于该基纳二极管上方的该介电层表面；至少一第一接触插塞，设于该介电层之中，并电连接该护垫金属与该基纳二极管；以及一保护层，覆盖于该半导体晶片表面，并暴露该护垫金属的部分表面。