处理精度检查装置、绘图精度检查装置、液滴喷出装置

摘要

本发明的目的是提供一种可以辨别基于移动机构的机械精度所引起的精度不良和基于功能液滴喷头的喷出精度所引起的精度不良的液滴喷出装置的绘图精度检查装置。本发明的绘图精度检查装置，通过移动机构(11)，对工件W一边相对移动功能液滴喷头(5)一边喷出功能液滴而进行绘图的液滴喷出装置，包括：点画机构(6)和点画控制机构(81)；其中所述点画机构是和功能液滴喷头(5)同时设在移动机构(11)，伴随上述的相对移动，对工件W照射相干光，在工件W上进行视觉辨认可能的点画；所述点画控制机构(81)是所定的时间频率来点画驱动点画机构(6)。

主权项

1、一种工件处理装置的处理精度检查装置，其通过移动装有工件和进行工件处理的工件处理机构，相对于上述工件，一边相对移动上述工件处理机构一边对上述工件表面进行工件处理，其特征在于包括：点画机构和点画控制机构；其中，所述点画机构是和上述的工件处理机构同时安装在上述的移动机构，伴随上述工件和上述工件处理机构的相对移动，对上述工件照射相干光而在上述工件上进行视觉辨认可能的点画的机构，所述点画控制机构是在所定的时间频率来点画驱动上述点画机构的控制机构。