用于可调式电子组件之压电致动器

摘要

本发明揭露一种用于调谐一电路之致动总成及一用于形成一含有一膜、一导电层及压电致动器之方法。该致动总成包括一膜覆盖一欲被调谐的电路、一与该膜连结的导电元件及一压电装配。改变该压电装配的形状提供该膜之偏移且相对的可控制该导电元件之向上及向下的移动。在本方法中，一膜及一压电结构系形成在一基板上。