| 摘要 |
本发明提供一种放射线敏感性树脂组成物，其对放射线的敏感度高，可形成对可见光的透过率高之透明硬化树脂图案。本发明提供一种放射线敏感性树脂组成物，其特征为含有：共聚物(A)，其包含从不饱和羰酸衍生之构成单位(a1)及从具有氧杂环丁基(oxetany1)之不饱和化合物(限制条件为不饱和羧酸除外)衍生之构成单位(a2)；以及通式(1)所示之酚化合物之二叠氮化物磺酸酯(B)：092129407p01.bmp(式中，Y^1、Y^2及Z^1'至Z^7各自独立，表示可经卤素原子取代之碳数l至4之烷基、氢原子或羟基，Y^1及Y^2中之至少一者为羟基且Z^1至Z^7中之至少二者表示羟基；R^1至R^6各自独立，表示氢原子、碳数1至10之烷基、碳数2至4之烯基、碳数3至10之环烷基或苯基，该苯基亦可被碳数1至4之烷基、卤素原子或碳数1至4之烧氧基取代)。092129407p01.bmp |
