发明名称 电子零件等之接合方法及其所用之接合装置
摘要 在本发明之接合方法中,藉重力按压具有由导体形成之第1接合部(10)之第1对象物(1)与由导体形成之第2接合部(20)之第2对象物(2),俾将第1接合部(10)与第2接合部(20)接合。此时,对第1接合对象物(1)于与重力方向(箭头f)垂直相交之第1方向施加超音波振动,且对第2接合对象物(2)于与重力方向(箭头f)平行之第2方向施加超音波振动。
申请公布号 TW200414388 申请公布日期 2004.08.01
申请号 TW092100911 申请日期 2003.01.16
申请人 富士通股份有限公司 发明人 吉良秀彦;小八重健二;海沼则夫;小林弘;竹内周一;松村贵由
分类号 H01L21/607 主分类号 H01L21/607
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 日本