用处理溶液来处理基板的处理设备

摘要

即使基板尺寸增加，基板被均匀地处理(蚀刻)。一超音波振荡器(103)安排在一蚀刻容器(101)下方，一基板(120)水平地安排在蚀刻容器(101)内，因此，基板(120)安排成使一表面面对超音波振荡器(103)，基板(120)在被一旋转机构(130)旋转之同时被蚀刻。