形成多种宽度间隙壁之方法

摘要

形成多种宽度或形状之间隙壁的方法包括下列步骤。首先，提供一个基材，其上具有多个分布不同区域的结构，且这些结构需于侧面形成间隙壁。然后，在此基材上形成多层具有不同蚀刻比的介电层。接着，依据间隙壁的规格需求，进行至少一次的微影蚀刻作业。此微影蚀刻作业包括形成图案化光阻以曝露一部份区域，对此曝露区域进行选择性蚀刻，以及在蚀刻后移除光阻。藉由不同区域的介电层受到不同的选择性蚀刻，以在不同区域产生形状或层数不同的介电层物质，而利用这些介电层物质便可组成不同宽度的间隙壁。