水性可显影的、光敏性之以苯并环丁烯为主且具高度抗湿性之寡聚物以及聚合物

摘要

本发明系有关以苯并环丁烯为主之可光控开关式聚合物，其在保留水显影性之际，避免了显着吸收水份之间题。该寡聚物或聚合物包括一聚合性主链、苯并环丁烯反应基及可光控开关式侧基。该侧基键结至该聚合性主链，及其特征在于存在一个曝光于活化辐射波长时转变为羰酸之部份。当后续加热寡聚物或聚合物以造成该寡聚物或聚合物的固化作用时，释出二氧化碳及该基形成一个实质上非极性部份。本发明亦有关制造该一聚合物之一种方法，及有关使用该一聚合物形成具图案薄膜之一种方法。