在酸性浆体中侦测化学机械抛光端点之方法

摘要

一种用于在使用酸性CMP研磨浆之进行中化学机械研磨(CMP)循环中之测量氨气浓度之装置，该装置包含下列构件：a.一采集酸性CMP研磨浆样本之传递构件；b.一转换酸性CMP研磨浆为硷性研磨浆之转换构件；c.一检测硷性研磨浆中是否存在氨气之检测构件；d.一在进行中CMP循环之末端时发信号之侦测构件。