N型半导体钻石制造方法及半导体钻石

摘要

本发明系加工钻石{100}单晶基板10，于形成钻石{111}面后，在钻石{111}面上掺杂n型掺杂物，同时使钻石磊晶生长，而形成n型钻石磊晶层20。此外，藉由组合如上述所获得之n型半导体钻石与p型半导体钻石及未掺杂钻石，并使用p型半导体钻石{100}单晶基板等，可获得pn接合型、pnp接合型、npn接合型及pin接合型之半导体钻石。