透明薄膜之形成方法、藉由该方法所形成之透明薄膜以及具备透明薄膜之透明基体

摘要

本发明系提供一种透明薄膜之形成方法，系以使用原料气体之化学气相沉积法进行透明薄膜之形成，其成膜速度在8nm／s以上，该透明薄膜含有择自碳(C)及氧(O)中至少一者、氮(N)、氢(H)及矽(Si)。若依本发明，可以使薄膜中张力缓和而不易由基体上剥离，且于浮式浴内在玻璃带上能形成可见光穿透率高之透明薄膜。