光碟用原盘之制造方法及光碟之制造方法

摘要

本发明为利用既存之曝光装置，可实现光碟之更进一步之高记忆容量化之光碟用原盘之制造方法及光碟之制造方法。本发明之特征为于基板上成膜含有W或Mo等类之过渡金属之不完全氧化物，且该不完全氧化物之氧含有量比因应前述过渡金属之可采价数之化学计量组成之氧含有量小之光阻材料所组成之光阻层后，使用使该光阻层藉由雷射光对应记录用信号图案而选择性地曝光、显影而形成特定之凹凸图案之原盘，制作经转印该凹凸图案之碟片。