| 主权项 |
1.一种充氮系统,系用以对一晶圆盒之载具的内部充氮,其包括:一载具本体,其用以承载至少一晶圆盒;一闭合盖件,系装设于该载具本体上,而于该闭合盖件与该晶圆盒之间形成一闭合空间;以及一充氮装置,其装设于一运送车辆上,系用以填充一氮气于该闭合空间,俾利于提高该晶圆盒在该载具本体内之一稳定性。2.如申请专利范围第1项所述之系统,其中该充氮装置系具有一抽拉式氮气柜,用以方便更换该充氮装置之一氮气瓶,且该氮气瓶装设有一压力感测器,以侦测该氮气瓶内之一安全氮气含量。3.如申请专利范围第2项所述之系统,其中该晶圆盒系为一运输用之晶圆盒(FOSB),且该充氮装置系具有一输送软管,用以从该氮气瓶输送该氮气至该闭合空间。4.如申请专利范围第3项所述之系统,其中该晶圆盒之载具为一手推车,该充氮装置之该输送软管系连接至一车内接头及一推车上接头,以连接一车内管路及该手推车。5.如申请专利范围第4项所述之系统,其中该载具本体之该闭合空间为一气密空间,且该推车上接头系装设有一止通进气口,以防止该充氮装置于该气密空间之逆行。6.如申请专利范围第1项所述之系统,其中该载具本体系被贴上一泡棉边条,以加强该晶圆盒之载具的一气密功能,且该运送车辆为一货车。7.一种充氮系统,系用以对一载具的内部充氮,其包括:一载具本体;一闭合件,系装设于该载具本体上,而于该载具本体内形成一闭合空间;以及一充氮装置,系用以填充一氮气于该闭合空间,俾利于提高该载具本体内之一物件之稳定性。8.如申请专利范围第7项所述之系统,其中该载具本体用以承载至少一晶圆盒,而该闭合件系为一闭合盖件,该闭合空间形成于该闭合盖件与该晶圆盒之间,且该充氮装置装设于一运送车辆上,该物件即为该晶圆盒。9.如申请专利范围第8项所述之系统,其中该充氮装置系具有一抽拉式氮气柜,用以方便更换该充氮装置之一氮气瓶,且该氮气瓶装设有一压力感测器,以侦测该氮气瓶内之一安全氮气含量。10.如申请专利范围第9项所述之系统,其中该晶圆盒系为一运输用之晶圆盒(FOSB),且该充氮装置系具有一输送软管,用以从该氮气瓶输送该氮气至该闭合空间。11.如申请专利范围第10项所述之系统,其中该晶圆盒之载具为一手推车,该充氮装置之该输送软管系连接至一车内接头及一推车上接头,以连接一车内管路及该手推车。12.如申请专利范围第11项所述之系统,其中该载具本体之该闭合空间为一气密空间,且该推车上接头系装设有一止逆进气口,以防止该充氮装置于该气密空间之逆行。13.如申请专利范围第8项所述之系统,其中该载具本体系被贴上一泡棉边条,以加强该晶圆盒之载具的一气密功能,且该运送车辆为一货车。14.一种充氮系统,其包括:一载具本体,其用以承载至少一晶圆盒;一闭合盖件,系装设于该载具本体上,而于该闭合盖件与该晶圆盒之间形成一闭合空间;以及一充氮装置,其装设于一运送车辆上,系用以填充一氮气于该闭合空间,俾利于提高该晶圆盒在该载具本体内之一稳定性。15.如申请专利范围第14项所述之系统,其系用以对一晶圆盒之载具的内部充氮。16.如申请专利范围第14项所述之系统,其中该充氮装置系具有一抽拉式氮气柜,用以方便更换该充氮装置之一氮气瓶,且该氮气瓶装设有一压力感测器,以侦测该氮气瓶内之一安全氮气含量。17.如申请专利范围第16项所述之系统,其中该晶圆盒系为一运输用之晶圆盒(FOSB),且该充氮装置系具有一输送软管,用以从该氮气瓶输送该氮气至该闭合空间。18.如申请专利范围第17项所述之系统,其中该晶圆盒之载具为一手推车,该充氮装置之该输送软管系连接至一车内接头及一推车上接头,以连接一车内管路及该手推车。19.如申请专利范围第18项所述之系统,其中该载具本体之该闭合空间为一气密空间,且该推车上接头系装设有一止逆进气口,以防止该充氮装置于该气密空间之逆行。20.如申请专利范围第15项所述之系统,其中该载具本体系被贴上一泡棉边条,以加强该晶圆盒之载具的一气密功能,且该运送车辆为一货车。图式简单说明:第一图:系本创作之充氮系统的晶圆盒之载具在一车厢空间内的较佳实施例之立体示意图;第二图:系贴上本创作之充氮系统的泡棉边条之位置示意图;第三图:系本创作之充氮系统的抽拉式氮气柜之实施例之立体示意图;第四图:是第一图中的晶圆盒之载具的止逆进气口之立体示意图;以及第五图:是第三图之氮气瓶装设有一压力感测器的立体示意图。 |
