化学放大型正光阻组成物

摘要

本发明提供了一种含有树脂成分的化学放大型正光阻组成物，该树脂本身不溶或微溶于硷性溶液，但在与酸、酸产生剂、或某些含有芳香环的化合物反应后可溶于硷性溶剂。这些含有芳香环的化合物，其分子量小于或等于1000，并且在190nm～260nm波长范围内，以莫耳消光系数为计其吸光度大于或等于1000升／(莫耳．厘米)，该化合物的含量为树脂重量的0.01％～20％。