层间绝缘膜,形成层间绝缘膜之方法及聚合组合物

摘要

本发明之层间绝缘膜系由其中具有经取代之乙炔基，且可依三次元方向聚合之第一种单体，及具有经取代之环戊醯基，且可依二次元方向聚合之第二种单体均经三次元聚合之聚合物组成。