影像感测器、包含该影像感测器之摄影系统及制造该装置之方法

摘要

本发明揭示一种影像感测器(1)包括：具有一第一导电型之半导体“本体”(2)及一表面(3)，且该表面设置数个晶格(4)，一晶格包括一感光元件(5)及一重置电晶体(6)，该重置电晶体包括一源极区(7)，一汲极区(8)及一闸极区(9)，该源极区(7)及该汲极区(8)具有相反于该第一导电型之一第二导电型，且该重置电晶体(6)之该源极区(7)电连接至该感光元件(5)。有一井区(10)，其自表面(3)延伸入该半导体“本体”(2)且至少部分地延伸于闸极区(9)之下，且该井区具有一第一导电型。源极区(7)至少实质地在感光元件(5)之一掺杂区(11)中延伸，该掺杂区(11)具有一第二导电型。源极一井接合面区域之减少可减少白像素之数量及固定图案杂讯。在制造影像感测器之方法中，井区(10)部分地定位于闸极区(9)之下，俾使高掺杂源极区(7)及井区(10)之间有一距离(13)。距离(13)在源极及井接合面之间增加空乏层宽度，俾使隧道电流不再支配漏泄电流，且减少相关白像素的数量及固定图案杂讯。