| 摘要 |
本发明系关于一种具有一主体(11)之铁电装置(10)，该主体包括一基底(1)和一具有一背向该基底(1)一侧之连接导体(3)之铁电层(2)，其中该铁电层包括一无氧铁电材料(2)，并被用于形成一主动电元件(4)，尤其系一记忆体元件(4)。此种装置形成一种吸引人之非挥发性记忆体装置。根据本发明，在该基底(1)和该铁电层(2)之间具有一导电层(5)，其中该导电层形成该铁电层(2)之另一连接导体(5)，并且该铁电层(2)与至少该等连接导体(3、5)之一形成一萧特基接面(Schottkyjunction)，从而得到该主动电元件(4)。在实务上已经发现此种装置(10)包括一效能良好之记忆体元件(4)，其很容易在一矽基底(1)(较佳为单晶)上形成。较佳地，该装置(10)进一步包括一场效应电晶体(6)，并且该元件(4)较佳处于该电晶体(6)之源极或汲极区(7)。该主动元件还可作为一二极体。 |
