基板清洗装置及基板处理设备

摘要

本发明提供一种基板清洗装置，其包含：一第一清洗室，其包括一用于清洗被置放于其中之基板的第一清洗部分；及一第二清洗室，其包括一用于清洗被配备于其中之基板的第二清洗部分。该第一清洗室被堆叠于该第二清洗室上，使得该第一清洗室之至少一部分重叠该第二清洗室之至少一部分。