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发明名称 A METHOD TO CREATE A CONTROLLABLE AND REPRODUCIBLE DUAL COPPER DAMASCENE STRUCTURE
摘要
申请公布号 SG104923(A1) 申请公布日期 2004.07.30
申请号 SG20000003006 申请日期 2000.05.31
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD 发明人 PAUL, HO KWOK KEUNG;ZHOU MEI SHENG;SUBHASH GUPTA
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/44;H01L21/476 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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