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发明名称 METHODS FOR PLANARIZATION OF GROUP VIII METAL-CONTAINING SURFACES USING OXIDIZING GASES
摘要
申请公布号 KR20040068293(A) 申请公布日期 2004.07.30
申请号 KR20047009629 申请日期 2002.12.17
申请人 发明人
分类号 B24B37/00;H01L21/302;C09G1/02;C23F3/00;H01L21/304;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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