Strukturübertragung bei der Bauelementeherstellung

摘要

Es wird ein Verfahren zum Übertragen einer Struktur auf ein Substrat bei der Herstellung von integrierten Schaltungen offenbart. Das Substrat wird mit einer Photolackschicht beschichtet, wobei die Photolackschicht selektiv belichtet und entwickelt wird, wodurch Seitenwände mit Rauheit entstehen. Die Rauheit wird durch Beschichten der Photolackschicht mit einer Schicht einer Beschichtung geglättet.