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发明名称 VERWENDUNG VON KURZZEITTEMPEROFEN FÜR EIN PHOTORESIST-EINBRENNVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE60104003(D1) 申请公布日期 2004.07.29
申请号 DE20016004003 申请日期 2001.04.03
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 SUBRAMANIAN, RAMKUMAR;RANGARAJAN, BHARATH;TEMPLETON, K.;SINGH, BHANWAR
分类号 G03F7/38;(IPC1-7):G03F7/38 主分类号 G03F7/38
代理机构 代理人
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