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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Gate-Schichtenstapels für eine integrierte Schaltungsanordnung und integrierte Schaltungsanordnung
摘要
申请公布号 DE10153619(B4) 申请公布日期 2004.07.29
申请号 DE20011053619 申请日期 2001.10.31
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 GRUENING VON SCHWERIN, ULRIKE;RUF, ALEXANDER;RICHTER, FRANK;BEWERSDORFF-SARLETTE, ULRIKE
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L21/28;H01L29/423;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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