| 发明名称 |
Pre-etch implantation damage for the removal of thin film layers |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003290868(A8) |
申请公布日期 |
2004.07.29 |
| 申请号 |
AU20030290868 |
申请日期 |
2003.11.12 |
| 申请人 |
INTEL CORPORATION |
发明人 |
REZA ARGHAVANI;SCOTT HARELAND;NICK LINDERT;ROBERT CHAU |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/266;H01L21/3105;H01L21/3115;(IPC1-7):H01L21/266;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
