| 发明名称 |
Monitoring material buildup on system components by optical emission |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003296395(A8) |
申请公布日期 |
2004.07.29 |
| 申请号 |
AU20030296395 |
申请日期 |
2003.12.24 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
AUDUNN LUDVIKSSON;ERIC J. STRANG |
| 分类号 |
G01N21/64;G01N21/68;(IPC1-7):G01N21/64;G01N21/00 |
主分类号 |
G01N21/64 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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