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发明名称 Ion sources for ion implantation apparatus
摘要
申请公布号 US2004144932(A1) 申请公布日期 2004.07.29
申请号 US20030703165 申请日期 2003.11.07
申请人 MURRELL ADRIAN;BANKS PETER MICHAEL;ALLEN ANDREW;CLARKE NEIL L;DOBSON MATTHEW PETER 发明人 MURRELL ADRIAN;BANKS PETER MICHAEL;ALLEN ANDREW;CLARKE NEIL L;DOBSON MATTHEW PETER
分类号 H01J37/08;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
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