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发明名称 Handhabungssystem für Halbleitermaterial
摘要
申请公布号 DE10297169(T5) 申请公布日期 2004.07.29
申请号 DE2002197169T 申请日期 2002.08.30
申请人 ASYST TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BONORA, ANTHONY C.;GOULD, RICHARD H.;HINE, ROGER G.;KROLAK, MICHAEL;SPEASL, JERRY A.
分类号 B65G49/07;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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