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发明名称
摘要
申请公布号	JP2004522857(A)	申请公布日期	2004.07.29
申请号	JP20020566001	申请日期	2002.01.16
申请人		发明人
分类号	C23C18/16;C23C18/34;(IPC1-7):C23C18/34	主分类号	C23C18/16
代理机构		代理人
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