| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PLANARIZATION OF A MATERIAL BY GROWING A SACRIFICIAL FILM WITH CUSTOMIZED THICKNESS PROFILE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003294681(A1) |
申请公布日期 |
2004.07.29 |
| 申请号 |
AU20030294681 |
申请日期 |
2003.12.11 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
JUAN CHACIN;HALI FORSTNER;VEDAPURAM, S. ACHUTHARAMAN |
| 分类号 |
H01L21/3105;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/310 |
主分类号 |
H01L21/3105 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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