| 发明名称 |
Method of synthesis of hafnium nitrate for HfO2 thin film deposition via ALCVD process |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2004146448(A1) |
申请公布日期 |
2004.07.29 |
| 申请号 |
US20030350641 |
申请日期 |
2003.01.23 |
| 申请人 |
SHARP LAB OF AMERICA INC |
发明人 |
ZHUANG WEI-WEI;EVANS DAVID R;HSU SHENG TENG |
| 分类号 |
C01G27/00;C01G27/02;C23C16/40;H01L21/316;(IPC1-7):C01G27/00 |
主分类号 |
C01G27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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