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发明名称 METHODS FOR POLISHING AND/OR CLEANING COPPER INTERCONNECTS AND/OR FILM AND COMPOSITIONS THEREFOR
摘要
申请公布号 AU2003286734(A1) 申请公布日期 2004.07.29
申请号 AU20030286734 申请日期 2003.10.28
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 LAWRENCE, A. ZAZZERA;SUSRUT KESARI;WILLIAM, M. LAMANNA;MICHAEL, J. PARENT
分类号 C09G1/02;C11D3/34;C11D11/00;C23F3/06;C23G1/10;H01L21/02;H01L21/288;H01L21/321;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):C09G1/02;C23F3/00;C11D1/00 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
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