| 发明名称 |
Machine for uniform treatment of sample surfaces by multicharged ion projection |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003300625(A8) |
申请公布日期 |
2004.07.29 |
| 申请号 |
AU20030300625 |
申请日期 |
2003.12.16 |
| 申请人 |
QPLUS |
发明人 |
BRUNO SIMON;GILLES BORSONI |
| 分类号 |
C23C14/22;C23C14/48;H01J37/06;H01J37/30;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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