投影系统的光学装置

摘要

本发明涉及在投影系统中有用的一种光学装置。可以把所述光学装置设计成如果需要的话可简便地更换所选择的部件而不需要对于投影系统进行大范围的再对准过程。

主权项

1.一种光学装置，包括：光学单元；安装在光学单元上的至少两个独立的支架；以及配置和安排成接收来自光学单元的光的第一成像器装置，第一成像器装置包括连接到光学单元的独立支架的至少两个成像器支架，以保持第一成像器装置相对于光学单元具有所要求的位置对准。