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发明名称
摘要
申请公布号
JP3547353(B2)
申请公布日期
2004.07.28
申请号
JP19990332579
申请日期
1999.11.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/20;H01L21/322;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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