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发明名称
Birefringent plate with stress-induced birefringence
摘要
申请公布号
EP0942300(B1)
申请公布日期
2004.07.28
申请号
EP19990102483
申请日期
1999.02.10
申请人
CARL ZEISS SMT AG
发明人
BECKER, JOCHEN
分类号
G03F7/20;G02B26/06;G02B5/30;G02B27/28;(IPC1-7):G02F1/01
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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