光干涉式显示面板及其制造方法

摘要

一种光干涉式显示面板的制造方法，此方法于透明基板上形成图案化的支撑层，再依序于透明基板与支撑层上形成第一电极层与光学薄膜。接着，于光学薄膜上形成牺牲材料层，再以支撑层为罩幕进行背面曝光制作工艺以图案化牺牲材料层。然后，去除部分图案化的牺牲材料层至露出支撑层上方的光学薄膜以形成牺牲层，再于相邻的支撑层间的牺牲层上与部分光学薄膜上形成第二电极层，最后再去除牺牲层。

主权项

1、一种光干涉式显示面板的制造方法，其特征在于：该方法包括下列步骤：于一透明基板上形成图案化的一支撑层；于该透明基板与该支撑层上形成一第一电极层；于该第一电极层上形成一光学薄膜；于该支撑层之间的该光学薄膜上形成一牺牲层；于相邻的该支撑层间的该牺牲层上与部分该光学薄膜上形成一第二电极层；以及去除该牺牲层。