发明名称 |
高真空磁控管 |
摘要 |
本实用新型提供的是一种高真空磁控管。它包括阴极、阳极、磁力装置、导磁体,阴极呈圆柱形,平面磁力装置设置于阴极下面,导磁体位于磁力装置的下面,阳极呈圆筒状置于阴极外且其底部带有工作气体入口,阴极的侧面与阳极内壁之间有供工作气体通过的间隙。本实用新型与众所周知的技术处理方法相比,该发明可以在工作室内气体压力为0.05-10毫托的范围工作,无需使用辅助磁体和无需将真空室装置复杂化。 |
申请公布号 |
CN2629211Y |
申请公布日期 |
2004.07.28 |
申请号 |
CN03260240.5 |
申请日期 |
2003.07.09 |
申请人 |
黑龙江省哈工大中俄科学技术合作有限公司 |
发明人 |
沃尔科夫A.A;金霄;李北光;张晓东;刘国辉 |
分类号 |
H01J25/50 |
主分类号 |
H01J25/50 |
代理机构 |
哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司 |
代理人 |
祖玉清 |
主权项 |
1、一种高真空磁控管,它包括阴极、阳极、磁力装置、导磁体,其特征是:阴极呈圆柱形,平面磁力装置设置于阴极下面,导磁体位于磁力装置的下面,阳极呈圆筒状置于阴极外且其底部带有工作气体入口,阴极的侧面与阳极内壁之间有供工作气体通过的间隙。 |
地址 |
150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街副90号 |