控制静电透镜的方法和离子注入装置

摘要

离子注入装置处理充当带电粒子束的离子束，并具有加速腔8，加速腔8含有用于会聚或发散离子束的静电透镜。完成对静电透镜的控制如下。通过单个法拉第杯46接受扫描离子束4，测量离子束4的束数量I(n)和束宽度Wd(p)。相对规定值，计算束数量和束宽度的估量值。对这些估量值分配权重，计算一元化估量值。控制由加速腔8施加于静电透镜上的聚焦电压Vf，从而提高一元化估量值。波形整形控制器50和束控制器54构成完成该控制的装置。

主权项

1.用于控制装置中使用的静电透镜的方法，该装置利用带电粒子束辐射物体，包括：利用电场或磁场扫描带电粒子束；用法拉第杯接受扫描带电粒子束；测量带电粒子束的束数量和在带电粒子束的扫描方向上的带电粒子束的束宽度；相对束数量/束宽度的规定标准，计算各个估量值；将权重分给所述估量值，计算其一元化估量值；和控制所述静电透镜，从而提高所述一元化估量值。