中空阳极等离子体反应器与方法

摘要

等离子体处理设备包括等离子体室、第一电极、第二电极与等离子体容器设备。等离子体容器设备具有多个槽并且电连接到第一电极。容器设备用于将等离子体限制在中间电极空间内，并且有利于最大程度的处理气体流动。当在中间电极空间内通过将电场应用于处理气体而产生等离子体时，容器设备将等离子体电子地限制在中间电极空间而没有显著的限制来自中间电极空间的气体的流动。

主权项

1.一种等离子体处理设备，包括：电气接地；连接到电气接地的真空室；放置在真空室内的第一电极，其具有面对连接到电气接地的真空室内部的基本平面表面；放置在真空室内的第二电极，其具有接近并平行于第一电极的基本平面表面；连接到第二电极的电源；以及容器设备，放置在真空室内的第一与第二电极周边的外围，该容器设备密封第一与第二电极之间的空间，并且该容器设备包括一屏蔽，该屏蔽具有多个开口，用于促进气体流动并电连接到电气接地。