METHOD AND APPARATUS FOR RECOVERING A NOBLE GAS,申请号EP19980955950-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR RECOVERING A NOBLE GAS
摘要
申请公布号	EP0983791(B1)	申请公布日期	2004.07.28
申请号	EP19980955950	申请日期	1998.11.27
申请人	NIPPON SANSO CORPORATION;OHMI, TADAHIRO	发明人	OHMI, TADAHIRO;ISHIHARA, YOSHIO
分类号	C01B23/00;B01D53/46;B01D53/00;B01J3/00;C23C16/44;(IPC1-7):B01J3/02;H01L21/205;H01L21/203;C23C16/50;C23F4/00	主分类号	C01B23/00
代理机构		代理人
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