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发明名称
摘要
申请公布号
JP3548583(B2)
申请公布日期
2004.07.28
申请号
JP19920109906
申请日期
1992.04.28
申请人
发明人
分类号
C23C14/06;C23C14/08;C23C14/16;H01G9/04;H01G9/042;H01G9/055;(IPC1-7):H01G9/055
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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