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发明名称 Projection exposure lens with aspheric elements
摘要
申请公布号 EP1115019(A3) 申请公布日期 2004.07.28
申请号 EP20000127786 申请日期 2000.12.19
申请人 CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG TRADING AS CARL ZEISS 发明人 SHAFER, DAVID R.;ULRICH, WILHELM;BEIERL, HELMUT
分类号 G02B13/14;G02B13/18;G02B17/08;G03F7/20;G03F7/22;H01L21/027;(IPC1-7):G02B13/18 主分类号 G02B13/14
代理机构 代理人
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