发明名称 |
ULTRAVIOLET LASER APPARATUS AND EXPOSURE APPARATUS COMPRISING THE ULTRAVIOLET LASER APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
IL138374(A) |
申请公布日期 |
2004.07.25 |
申请号 |
IL19980138374 |
申请日期 |
1998.11.30 |
申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
TOMOKO OHTSUKI;SOICHI OWA |
分类号 |
G02F1/35;G02F1/37;G03F7/20;H01S3/067;H01S3/23;(IPC1-7):G02F1/365 |
主分类号 |
G02F1/35 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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