| 发明名称 |
PROCEDE ET INSTALLATION D'IONISATION PAR DECHARGE ELECTRIQUE A BARRIERE DIELECTRIQUE ET PRODUCTION DE SUBSTRATS TRAITES EN SURFACE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2840105(B1) |
申请公布日期 |
2004.07.23 |
| 申请号 |
FR20020006444 |
申请日期 |
2002.05.27 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
COCOLIOS PANAYOTIS;LABRUNE PHILIPPE;PLEVAKO FIODOR;GORBATOV SERGUEI |
| 分类号 |
H01T19/00;(IPC1-7):H01J37/30;H01J27/16 |
主分类号 |
H01T19/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
