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发明名称 IC TILING PATTERN METHOD, IC SO FORMED AND ANALYSIS METHOD
摘要
申请公布号 AU2002364218(A1) 申请公布日期 2004.07.22
申请号 AU20020364218 申请日期 2002.12.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 JOHN, M. COHN;PETER, A. HABITZ;WILLIAM LEIPOLD;IVAN WEMPLE;PAUL, S. ZUCHOWSKI;ROBERT, J. ALLEN
分类号 G06F9/45;G06F13/00;G06F17/50;H01L21/321;H01L23/48;H01L23/52;H01L23/528;H01L23/535;H01L27/02;(IPC1-7):H01L23/48 主分类号 G06F9/45
代理机构 代理人
主权项
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