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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Abrichten eines Poliertuches
摘要
申请公布号 DE69729590(D1) 申请公布日期 2004.07.22
申请号 DE19976029590 申请日期 1997.06.25
申请人 EBARA CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 KIMURA, NORIO;ISHII, YOU;NISHI, TOYOMI;KAWAMOTO, TAKAYOSHI;SAKURAI, TAKESHI
分类号 B24B49/00;B24B53/00;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B24B49/00
代理机构 代理人
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