发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR EPITAXIAL SUBSTRATE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
摘要
申请公布号 AU2003289473(A1) 申请公布日期 2004.07.22
申请号 AU20030289473 申请日期 2003.12.19
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 发明人 TAKENORI OSADA;TSUYOSHI NAKANO;TAKAYUKI INOUE
分类号 H01L29/201;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778;H01L21/205 主分类号 H01L29/201
代理机构 代理人
主权项
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