发明名称 FAHRZEUG ZUM TRANSPORT EINES HALBLEITERBAUELEMENTTRÄGERS ZU EINEM HALBLEITERVERARBEITUNGSWERKZEUG
摘要
申请公布号 DE60103915(D1) 申请公布日期 2004.07.22
申请号 DE2001603915 申请日期 2001.09.26
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO. KG 发明人 LERING, MICHAEL
分类号 B62B3/00;B62B3/10;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B62B3/00
代理机构 代理人
主权项
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