| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Orbitron-Pumpe 10 zur Erzeugung von Vakuum in einem zu evakuierenden Raum - Pumpenraum 24 -, mit einer Elektronenquelle 18, mit Mitteln zum Erzeugen eines Feldes, das die Elektronen der Elektronenquelle 18 im Pumpenraum 24 auf eine Kreisbahn zwingt. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass die Elektronenquelle als Feldelektronenquelle 18 ausgebildet ist, die einen kalten Feldelektronen-Emitter 22 und eine Beschleuniger-Elektrode 20 umfasst, welche die aus dem Feldelektronen-Emitter 22 austretenden Elektronen in Richtung auf das Feld beschleunigt, und dass der Abstand zwischen dem Feldelektronen-Emitter 22 und der Beschleuniger-Elektrode 20 kleiner als die mittlere freie Weglänge der Atome des zu evakuierenden Gases - Restgas - in dem Pumpenraum 24 ist.
|
